检测需求为表面不能有划痕磕伤边缘磕碰
为了兼容多重类型缺陷,检测方式采用明场和暗场分两次曝光的检测方式,明场使用同轴光检测表面明显划伤磕碰等缺陷,低角度四面可调光做暗场检测较为轻微的边缘磕碰以及表面擦伤。
四面可调也可为后期检测难度更大缺陷分四次曝光,使用2.5D检测方式检测,检测类似轻微凹陷变形等缺陷